基本信息
| 标准名称： | 溅射离子泵 技术条件 |
| 中标分类： | 机械 >> 通用机械与设备 >> 真空技术与设备 |
| 替代情况： | JB 4082-1985;被JB/T 4081-2011代替 |
| 发布部门： | 国家机械工业局 |
| 发布日期： | 1991-07-22 |
| 实施日期： | 1992-07-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 2012-04-01 |
| 提出单位： | 全国真空技术标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国真空技术标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 机械电子工业部沈阳真空技术研究所 |
| 起草人： | 冯玉国 |
| 出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版日期： | 1992-07-01 |
| 页数： | 2 页 |
| 批文号： | 机电科标[1991]1121号 |
适用范围
本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 机械 通用机械与设备 真空技术与设备